新傲的主要股東上海微系統與信息技術研究所80年代初在國內率先開展SOI技術研究,至今已有20年的歷史。新傲在SOI材料研究方面居國內領先位置,并保持國際先進水平。
1) 2002年,新傲公司建立了國內第一條SIMOX SOI生產線,并開發相關的成套工藝,研制出系列的全劑量、中等劑量和低劑量SIMOX產品。
2) 2005年,新傲開發出鍵合SOI材料生產技術;同年,在結合SIMOX和鍵合技術的基礎上,新傲開發出具有自主知識產權的Simbond®技術(ZL 200510028365.6)。
3) 2008年,新傲開發出另一項同樣具有自主知識產權的BEST-SOI技術(ZL 200810201039.4)。
4) 2010年,新傲北區建成投產,批量生產8英寸SOI/EPI產品。
5) 2014年,瞄準RF、汽車電子市場的蓬勃發展,新傲與法國Soitec公司開展技術合作,引進注氫剝離技術,并于2015年實現SOI產品的量產。
6) 截止到2015年,新傲公司共申請受理專利120項,其中60項已授權,PCT 3項。
7) 瞄準SOI器件及下一代微納電子材料的應用,同中科院上海微系統所緊密合作,積極推進包括:高遷移率襯底材料、高k柵極介質材料、特種 SOI材料、SOI高壓器件以及硅基光互聯等方面的研究工作。
新傲公司SOI主要專注下述領域:
SIMOX
Bonding
Simbond
Best SOI
Direct Si-Si Bonding
與此同時,新傲公司也致力于外延技術的發展: