上海新傲科技股份有限公司

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外延爐一覽
? 筒式外延爐MT7700、MT7811K
? RF平板式外延爐
? 單片式外延爐
? LPE3061&LPE2061 外延爐

MT系列外延爐性能	單片式外延爐性能	RF平板式外延爐性能
? 良好的表面質量和無滑移線 ? 爐內厚度均勻性±5% ? 爐內電阻均勻性±5% ? 過渡區窄 ? 減壓外延	? 良好的厚度和電阻率均勻性 ? 超強的加工能力 ? 薄外延加工能力 ? 8英寸外延片加工能力	? 高產出 ? 過渡區窄 ? 良好的厚度和電阻率均勻性 ? 大尺寸和雙腔體設計 ? 厚外延加工能力
外延設備一覽
Centura機臺	CSD
LPE 3061	ASM E2000

外延測試設備

公司具有一套完備先進的外延表征設備，以確保外延片的質量達到客戶的要求。


MCV530	SSM495Hg-Probe CV System	CDE 4-Point Probe
Surface scan SP1	QS2200M Accent FTIR	ADE 9300
SSM SRP 2000	Agilent ICP MS7500CS	OLYMPUS MX50

外延輔助設備

	日產130噸的超純水系統。所產純水電阻率達18.2MΩ，顆粒度和TOC含量極低，達到國內領先水平。
	美國Verteq公司的清洗設備。結合了超稀化學溶液和先進的兆聲清洗技術，可高效去除晶片表面的顆粒、痕量金屬和有

新傲科技采用SIMOX,BONDING,SIMBOND和SSS四種方法，利用從美國和日本知名設備制造商進口的先進設備來制備SOI材料，以確保新傲圓片能夠達到國際半導體標準，并能夠滿足當今世界主流IC生產線的要求。依靠美國MT公司強大而持續的技術支持，整合國產化襯底片良好的性價比以及以及新傲自身強大而靈活的加工能力優勢，新傲向客戶提供專業化得外延服務。